第18屆國際激光加工技術研討會（LPC 2024）將于9月10日（深圳光博會前一天）在深圳深鐵皇冠假日酒店舉辦。LPC 2024繼續秉承以推動激光行業的可持續發展，搭建“產學研用”高度融合的國際交流平臺為宗旨，匯聚國內外相關科研院所、高校及企業的多位專家大咖，圍繞先進光源和裝備技術、激光微納制造、激光智能制造、激光賦能新質生產力以及“光”制造行業的創新發展路徑等主題進行深入探討，結合他們最新的研究成果和成功案例分享全球激光行業的創新工藝、技術、產品和應用方案，探索前沿技術、破解難點痛點、驅動熱點應用、把脈未來趨勢、促進產業發展！
演講嘉賓
◎徐少林，南方科技大學副教授
演講題目
◎激光引導各向異性刻蝕—微結構玻璃器件精密加工技術
演講摘要
向下滑動閱覽
表面微結構化玻璃在各類光學元件和光電器件中得到了廣泛應用。然而，現有的精密加工方法通常難以實現高效制造復雜、高自由度的玻璃微結構，這限制了微結構化玻璃元件的應用潛力。徐少林團隊的研究發現，通過利用激光對玻璃特定區域進行改性，可局部加速玻璃刻蝕速率，打破玻璃固有的各向同性刻蝕規律，實現沿改性軌跡引導的各向異性刻蝕過程。基于這一現象，團隊開發了“激光引導各向異性刻蝕”技術，用于制備具有銳利特征、光滑表面以及可調形狀和尺寸的精密玻璃微結構。該方法使用整形貝塞爾光束在玻璃內部創建高縱橫比的線形改性區域。這些改性線的蝕刻速率高于原始玻璃，并且可以沿著改性軌跡引導具有方向性的蝕刻去材過程，從而形成V槽結構。通過調控蝕刻速率比，可以在20至80度范圍內精確調節V槽角度。將這些改性線作為基本單元相互連接，構建三維內部改性區域，可以引導玻璃表面形貌的整體蝕刻演化，最終實現具有可設計形狀和可調特征尺寸的微結構。該技術在加工各類精密結構化玻璃元件中展現出巨大潛力，可加工用于光纖對準的V槽陣列、用于光調制的閃耀光柵，以及具有復雜設計流道的微流控芯片等。這一激光引導各向異性刻蝕方法有望推動高附加值結構化玻璃器件相關研究和產業的進一步發展。
嘉賓介紹
徐少林博士，現任南方科技大學機械與能源工程系長聘副教授（研究員），博士生導師，主要從事超快激光微納加工及應用等相關研究。日本東北大學機械系統設計工程博士，曾任職于日本東北大學工學研究科JSPS特別研究員和助理教授，獲批主持2項日本學術振興會科研基金。中國光學學會激光加工專業委員會委員，中國機械工程學會極端制造分會委員，廣東省機械工程學會特種加工分會理事。學術研究上，首次提出激光誘導周期性納米結構自對準制造、逐像素偏振圖案化脈沖激光光刻等技術，實現了大面積亞波長結構圖案化高效制造；工業應用上，開發了整形脈沖激光輔助蝕刻技術制備玻璃晶圓微通孔/微溝槽/微透鏡等，與企業共建“激光精密制造與芯片先進封裝”校企聯合實驗室。近年來以通訊作者身份發表高水平學術論文40余篇，獨立主持國家省市級及企業橫向項目10余項。
